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ALCATEL ADP122真空泵維修
產(chǎn)品型號:
阿爾卡特ADP122
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阿爾卡特真空泵維修
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簡單介紹
ALCATEL ADP122
真空泵維修
應(yīng)用: H 型:針對非??量痰墓に? P 型:針對中等工藝 LM 型:針對干凈的工藝 優(yōu)點(diǎn): 體積小,占地面積小 使用成本低 非常高的性能(抽速以及極限壓力) 在苛刻環(huán)境下出色的運(yùn)行效果 易于一體化 先進(jìn)的監(jiān)控功能 (待機(jī)狀態(tài)可減少N2 的消耗量,斷電保護(hù)) SEMI S2-93 標(biāo)準(zhǔn)的兼容性(可選)
ALCATEL ADP122真空泵維修
的詳細(xì)介紹
阿爾卡特干泵的設(shè)計(jì)可將潛在沉積物*小化:
?? 通過減小氣體經(jīng)過的中間腔的容積
?? 通過在泵的每較好進(jìn)行 N2 吹掃從而稀釋工藝氣體(P 和H 型)
?? 通過調(diào)節(jié)真空泵的溫度使其符合各個(gè)工藝,從而限制氣體在泵內(nèi)的冷凝(P 和H 型)
多級羅茨的工作原理:
ADP 真空泵由5 級羅茨組成。兩個(gè)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)互不接觸。
ADP 122,共有2 個(gè)型號
ADP 122 P: 和外部的密閉機(jī)架一體化,包含:泵,監(jiān)控系統(tǒng),手動遙控器,水電氣設(shè)施接
口,流量計(jì)面板,OEM 接口和串口連接等。
ADP 122 LM: 簡化后的帶監(jiān)控系統(tǒng)的型號,用于干凈的工藝(load-lock 和transfer chamber
pumping)。
蘇州曼特萊精密電子有限公司熱忱歡迎您的到來,歡迎來電垂詢ALCATEL ADP122
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