Edwards IXH610真空泵設(shè)計(jì)緊湊、重量輕,結(jié)合極低的噪音和振動(dòng),使 iXH 成為 Edwards 系列中用途廣泛的化學(xué)干泵。 iXH 將改變您對(duì)干式真空泵技術(shù)的期望,提供真正的好處并增加正常運(yùn)行時(shí)間,同時(shí)將對(duì)環(huán)境的影響降至較低。 iXH 泵設(shè)計(jì)用于大多數(shù)半導(dǎo)體工藝,同時(shí)顯著降低輸入功率。
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